磁场控制电源
Magnetic Field Control
精新电源拥有国内首创的磁场控制电源,包括三角波电源、磁场扫描电源等,可以灵活动态的在工艺过程中调整腔体内的磁场,完美解决PVD工艺流程中遇到的各类磁场相关的问题。